拋光矽晶圓的表面經過氬氣的熱處理,使表面達到所要求的條件。 種類:P型和N型 尺寸:8” 和12” 應用產品:Logic、Flash、MEMS和IC、LCD Driver 聯絡窗口: 陳興男 (03)571-1499 # 606 Ralph.Chen@mail.sumitronics.com.tw