高純度ポリッシュト・ウェーハの表面に、化学気相成長法で様々な厚さの高純度エピウェハーを成長させるウェハー。

種類:P/P-タイプ、P/P+タイプ、N/N+タイプ
直径:6"、8"、12"
応用:DRAM、Logic、Flash、MEMS、CIS

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